第64章 投影系统(2 / 2)

电梯门打开。

许一秋等人相继走进了实验室里。

此时,光刻机项目组的新老成员已经开始在里面进行研发工作了。

许一秋将他们所有人全部召集过来,开始开会。

“各位,现在开始我们光刻机研发项目的全体会议。”地下实验室里,许一秋坐在会议室的主位,他环顾着会议桌前的众多成员,郑重说道。

在他的面前还放着一叠设计图纸。

参会的研发人员正襟危坐,面带期待的神情。有的人掏出了笔记本,准备记录会议要点。

自从见识到了许一秋的天才之处后,现场的无论是新成员,还是老成员,都怀着最崇高的敬意,再也没人敢再小瞧这个二十出头的年轻人了。

“首先,我宣布项目组的各部门负责人...”许一秋开始明确各小组的任务分工。

“投影系统设计由李文教授带队,张博文做副手.....”他逐一点名,人员们会随之站起来示意。

划分好组别后,许一秋继续说:“各系统之间要保持高度协作,我会设置例会进行程序检验。”

“我们的首要目标是提高光刻分辨率和精度,要充分发挥各自尖端技术,互相支撑。”

他的声音回**在整个地下室内。

所有人都在认真听讲。

“我们完全理解你的要求,按照此次研发计划,一定尽我们最大的能力。”李文教授代表其他人回应道。

“很好。”

“不过,最后还是要提醒大家,保密工作极为重要,所有研发内容不得向外泄露。”

许一秋提高了声音强调。

会议室里鸦雀无声,所有人都极其专注,许一秋的最后一句话落下时,全场响起了整齐的掌声。

此刻,大家的眼神中都透着对这个重大项目的期待与兴奋。

吴富国则是露出了极为满意的笑容,看向许一秋时,眼神充满了赞赏和欣慰。

不知从什么时候开始,他对许一秋越来越器重和信任了。

许一秋的各方面表现,从未让他失望过。

反而给了他无数的惊喜和希望。

现在,他愿意无条件信任许一秋,并在身后给他无限的支持和帮助。

半个小时后。

关于光学系统中的子系统镜像系统,正式展开了研发。

他们先根据光刻机总体结构设计,确定了投影透镜的具体位置参数。

然后根据曝光需要确定了透镜的焦距,并计算设计了透镜的曲率半径。

“根据我的计算,这片透镜的中心厚度需要控制在5.2毫米左右,否则会影响后续的光聚焦效果。”李文一边对着许一秋提供的设计图纸比划,一边说道。

为达到所需的光学分辨率,透镜材料必须达到极高的均匀性和折射率。

“我这边试制出一批样品了,来看看质量如何。”研究员王宇拿着几块刚抛光的透镜样品过来。

李文拿起一块透镜放在测量仪上进行检测:“嗯......中心厚度有些偏差,需要调整研磨时间,我重新计算一下参数给你。”

“没问题,我调整机台参数重新制作一批出来。这种新型钕掺杂光学玻璃材料研磨起来手感完全不同,需要找对窍门。”王宇一边说,一边在笔记本上记录着新的技术参数。

另一边,张博文正在测量不同曲率半径的透镜对光线折射角度的影响。

他不断调整光源和摄像头的位置,在电脑上比较不同曲率透镜的光学效果。

“聚焦距离不同会导致成像清晰度下降,我们需要计算最小的色差来选择最佳曲面。”他抬头对许一秋说道。