似乎无论如何实验,也不可能走出这个迷宫。
眼下临时被召集到实验室做实验。
再加上又是深更半夜被吵醒。
实验成员们的内心深处,自然是一百八十个不乐意。
还有的更是直接屏蔽了群消息,无视了吴富国的电话轰炸,假装什么也没有看到,继续呼呼大睡。
但大部分项目组成员,还是艰难地从**爬了起来。
匆匆披上了衣服,就急忙前往了实验室。
毕竟是吴富国院士的亲自来电。
尽管他们再怎么不情愿,院士的面子当然还是要给的。
“院士,项目有所突破吗?”
实验室成员们陆陆续续地走进了实验室后,有气无力的问道。
从他们的眼神中看不到任何自信光彩。
一个个全都睡眼朦胧,一副还没睡醒的模样。
吴富国看着这群毫无动力的成员们,出乎意料的没有发火。
反而安慰道:
“各位,我非常理解大家现在的苦闷。”
“毕竟,实验到了现在毫无进展,暂时失去信心也是常有的事。”
“不过大家也不要灰心丧气。”
“我找到了新的方法。这次实验一定能成功!”
吴富国信心满满地说道。
从许一秋那边得到了新的思路,这使他心情大好,整个人都充满了精气神。
吴富国的一番话,让这些昏昏欲睡的研究员们稍微恢复了一些斗志。
但他们也只当院士是在安慰他们。
实验这么久了。
漂亮话说的也不是一次两次了。
他们真心不觉得这次也能成功。
虽然内心带有质疑,但他们还是老老实实来到了自己的设备前,像往常那样开始进行调试工作。
实验室的中央位置,是一个EUV光刻机平台,上面有照明单元、掩模板台、晶圆台等模块,从外形来看,就像一个大型的精密仪器。
此时实验成员们已经穿好了清洁服UV护目镜与防辐射手套。
吴富国亲自来到了控制台,神情肃然地盯着电脑屏幕上的数据变化。
“;此话一出。
实验室的成员纷纷大吃一惊。
平时他们实验时,只会对光进行一次曝光。
力求制造更强更短波长的光。
但最终都以失败告终。
但这一次,吴富国居然要求他们曝两次光。
但曝光两次就有用了吗?
对于此次实验,众人的内心都疑虑和质疑。
似乎是看出了大家的疑惑。
吴富国保证道:“相信我,这次一定能造出更短更强波长的光!”
一名成员小心翼翼地将涂布了EUV光刻胶的晶圆装载到了光刻机的晶圆台上。
“调整光源参数,立即开启EUV光源。”
吴富国紧紧地盯着实验参数,沉声说道。
实验员们马上紧锣密鼓的开始了实验。
嗡。
一台大型激光设备正常运作,开始输出稳定的EUV激光脉冲。
“很好,进行一次EUV曝光,曝光一定剂量。”
“保持晶圆位置不变,开始进行第二次EUV曝光!”
控制台前,吴富国紧紧地盯着不断跳动的实验参数和数据,声音都有些发抖。
可想他此时的心情有多忐忑。
实验助理员在一旁迅速地做着记录参数。
片刻,不知道是谁激动喊了一声。
“我的老天!”
“成功了!”
“这次光的强度比上次实验的数据有了明显提升!”