第5章 来兴趣了(1 / 2)

作为一名从事相关专业的博士生,张明杰也清楚,其实国内对DUV光刻机的研究,也算比较深了。

各种设计图,不说全套,但差不多他也都见过。

即便EUV技术,虽然有阿斯麦的技术限制,但国内其实也大致摸清了一些参数的。

当然,摸清是一回事。

要制造出来,量产商用,那又是另外一回事。

更何况还是大致摸清?

且不提这中间存在大量需要攻克的技术难题,光是西方的专利壁垒就明显很难绕过。

这个问题相当的棘手。

光是张明杰知道的。

所里好几个大牛的项目组,都在研究绕过专利的方法。

只可惜那么长时间过去了,也没听到有什么消息。

而现在摆在眼前的这张设计图。

却让他来兴趣了。

单单从图纸上面标明的各项参数来看。

明显和阿斯麦的EUV不太一样。

但身为作风严谨的科研工作者,张明杰不会因为一张图纸就认为对方手握EUV光刻技术。

说不定这是改款的DUV呢?

而且纯从常理来看,光刻机作为当下的大热门项目,那么多专家教授都在努力研究,各种技术路线几乎都被探讨过。

怎么可能突然冒出来一条新设计?

新思路?

想想也知道不可能。

张明杰觉得,要么是许一秋被其他人给骗了,以为那真的是全新的EUV设计图,要么他纯粹就是以光刻机为噱头进行炒作。

嗯!

大概率是在炒作博取名气。

“只可惜他忽悠得了外行人,忽悠不了内行啊。”

张明杰摇摇头,放下筷子就准备反驳。

然而,这时候许一秋又拿出了一张全新的设计图,钉在黑板上,开始讲解起来。

看到这张设计图后。

张明杰的目光逐渐凝住了。

“不对,这是实验参数?”

“还有进一步的理论分析?”

张明杰再也顾不上反驳了,连忙拿来电脑,打开专业的软件,开始计算起来。

经过数据验证之后。

他发现上面列举的参数竟然跑的通!

而更关键的是,后面涉及到的一些技术理论。

比他想象中的更加深奥。

“卧槽,这个理论基础真的具备可行性?!”

张明杰猛地从座位上起身,连打翻了碗都没能注意到,看着直播间的那几张图纸,怔怔发呆。

现在,他只感到头皮发麻!

“这,这是全新的思路?”

张明杰再也坐不住了,连忙打电话,联系负责项目的研究组长,院士徐鸿远。

“小张,你马上来我家一趟。”

……

“徐院士,你看看这几张EUV设计图,似乎走的不是阿斯麦的路线。”

头发花白的院士徐鸿远早已等待多时。

作为独领一个课题组的研究组长,他最近研究主攻的内容,就是EUV的相关技术。

听到张明杰说,竟然存在其他思路的EUV,徐鸿远连觉都睡不下,立刻让他来到家里了。

“将截图放大一点,搞清晰一点。”

徐鸿远越看越震惊。

刚开始时,他还以为那仅仅只是外界提出的某个猜想。

虽然只是猜想,说不定也能给他带来一些灵感。

但看到图纸上的研究,越来越深入,论证越来越彻底,徐鸿远的表情也渐渐变得严肃起来。