作为一名从事相关专业的博士生,张明杰也清楚,其实国内对DUV光刻机的研究,也算比较深了。
各种设计图,不说全套,但差不多他也都见过。
即便EUV技术,虽然有阿斯麦的技术限制,但国内其实也大致摸清了一些参数的。
当然,摸清是一回事。
要制造出来,量产商用,那又是另外一回事。
更何况还是大致摸清?
且不提这中间存在大量需要攻克的技术难题,光是西方的专利壁垒就明显很难绕过。
这个问题相当的棘手。
光是张明杰知道的。
所里好几个大牛的项目组,都在研究绕过专利的方法。
只可惜那么长时间过去了,也没听到有什么消息。
而现在摆在眼前的这张设计图。
却让他来兴趣了。
单单从图纸上面标明的各项参数来看。
明显和阿斯麦的EUV不太一样。
但身为作风严谨的科研工作者,张明杰不会因为一张图纸就认为对方手握EUV光刻技术。
说不定这是改款的DUV呢?
而且纯从常理来看,光刻机作为当下的大热门项目,那么多专家教授都在努力研究,各种技术路线几乎都被探讨过。
怎么可能突然冒出来一条新设计?
新思路?
想想也知道不可能。
张明杰觉得,要么是许一秋被其他人给骗了,以为那真的是全新的EUV设计图,要么他纯粹就是以光刻机为噱头进行炒作。
嗯!
大概率是在炒作博取名气。
“只可惜他忽悠得了外行人,忽悠不了内行啊。”
张明杰摇摇头,放下筷子就准备反驳。
然而,这时候许一秋又拿出了一张全新的设计图,钉在黑板上,开始讲解起来。
看到这张设计图后。
张明杰的目光逐渐凝住了。
“不对,这是实验参数?”
“还有进一步的理论分析?”
张明杰再也顾不上反驳了,连忙拿来电脑,打开专业的软件,开始计算起来。
经过数据验证之后。
他发现上面列举的参数竟然跑的通!
而更关键的是,后面涉及到的一些技术理论。
比他想象中的更加深奥。
“卧槽,这个理论基础真的具备可行性?!”
张明杰猛地从座位上起身,连打翻了碗都没能注意到,看着直播间的那几张图纸,怔怔发呆。
现在,他只感到头皮发麻!
“这,这是全新的思路?”
张明杰再也坐不住了,连忙打电话,联系负责项目的研究组长,院士徐鸿远。
“小张,你马上来我家一趟。”
……
“徐院士,你看看这几张EUV设计图,似乎走的不是阿斯麦的路线。”
头发花白的院士徐鸿远早已等待多时。
作为独领一个课题组的研究组长,他最近研究主攻的内容,就是EUV的相关技术。
听到张明杰说,竟然存在其他思路的EUV,徐鸿远连觉都睡不下,立刻让他来到家里了。
“将截图放大一点,搞清晰一点。”
徐鸿远越看越震惊。
刚开始时,他还以为那仅仅只是外界提出的某个猜想。
虽然只是猜想,说不定也能给他带来一些灵感。
但看到图纸上的研究,越来越深入,论证越来越彻底,徐鸿远的表情也渐渐变得严肃起来。